• 2020年8月26-28日
  • 深圳会展中心

源测量单元(SMU)仪器

 

源测量单元

可供选择范围最广泛的SMU

使用一台仪器进行多种测量

源测量单元(SMU)仪器是一种5合1工具。它外观紧凑,同时融合了数字万用表(DMM)、电源、电流源、电子负载和脉冲发生器的实用功能,您可以:

l  同时精确提供和测量电压和/或电流

l  直接或间接测量电阻相对于电流/电压关系

l  提供和测量范围非常广的电流(100 aA ~ 50 A)和电压(100 nV ~ 3 kV),支持6位半测量分辨率

l  生产测试运行速度提高60%,吞吐量提高达10倍

l  节省时间,使速度达到最大,快速完成作业

 

为什么要选择吉时利源测量单元?

70多年来,吉时利SMU制造商——泰克科技一直设计、制造和行销高级电气测试仪器和系统,满足高性能生产测试、工艺监测、产品开发和研究中电子制造商的专门需求。

l  保障可重复性

l  快速,精确

l  选择范围最广泛

了解更多https://www.tek.com.cn/keithley-source-measure-units

 

图形触摸屏SMU,Touch, Test, Invent™

2450、2460和2461源表SMU仪器

• 5英寸高清容性触摸屏GUI

• 0.012%基本测量准确度,6位半分辨率

• 覆盖范围宽,最高200 V、7 A DC、10 A脉冲、最大1000 W

• 源端和接收端(4象限)操作

• 双1 MS/s模数转换器,快速进行采样测量(仅2461)

• 增强灵敏度,20 mV和10 nA源/测量范围(仅2450)

• 内置相关情境前面板帮助

• SCPI和快速脚本处理器(TSP®)编程模式

• 前面板USB 2.0存储I/O端口,用来传送数据、测试脚本或测试配置

 

型号

2450

2460

2461

最大电流源/测量范围

1 A

7 A

10 A

最大电压源/测量范围

200 V

100 V

100 V

测量分辨率(电流/电压)

1pA / 10 nV

10 pA / 100 nV

1 pA / 100 nV

最大输出功率

20 W

100 W

1000 W

 

2450 了解更多信息

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2461 了解更多信息

 

节省时间,使速度达到最大,快速完成作业

多种SMU型号,采用用户熟悉的图形界面,比如基于图标的菜单结构,不管用户经验是否丰富,使用起来都非常简便。您可以缩短学习时间,减少配置步骤,提高测量速度,从而学起来更快,工作起来更智能,发明创造更容易

标准性能SMU,满足大多数基本需求

Series 2400源表SMU仪器

• 5种型号:20~100 W DC, 1100 V ~ 1 μV;单通道

• 源端和接收端(4象限)操作

• 0.012%基本测量准确度,6位半分辨率

• 2线、4线和6线远程电压源和测量传感

• 1700个读数/秒,4位半,经GPIB传送

• 合格/不合格对比,快速分拣/分装

• 可编程DIO端口,实现自动化/分拣器/探针台控制(2401除外)

• 标配SCPI GPIB、RS-232和吉时利触发链路接口

型号

2400

2401

2410

2420

2440

最大电流源/测量范围

1 A

1 A

1 A

3 A

5 A

最大电压源/测量范围

200 V

20 V

1100 V

60 V

40 V

测量分辨率 (电流/电压)

1 pA / 100 nV

1 pA / 100 nV

1 pA / 100 nV

10 pA / 100 nV

10 pA / 100 nV

最大输出功率

20 W

20 W

20 W

60 W

50 W

 

比单独使用多以仪器更实用

SMU与电源相比

• 在电源过零时,SMU可以自动扫描正负输出的电压或电流。

• 在这些操作期间,不需要改变试线。

• SMU的输出可以在最短50 ms内稳定到0.01%的指定准确度范围内。

• SMU的精度更高,工作范围更宽。

• SMU提供了更加灵活的选项。

SMU与结合使用DMM和电源相比

• SMU把源功能和测量功能紧密整合到一台仪器中,不需要单独的DMM和电源。

• 改善了测试时间,简化了整体测试系统设计,提高了易用性。

• 在各种应用的电流相对于电压关系(IV)测量中,SMUs的性能都要优于单独使用DMM和电源。

为高要求应用提供的高速系统SMU

Series 2600B系统源表SMU仪器

• 紧密集成的4象限电压/电流源和测量仪器

• 10 A脉冲到0.1 fA及200 V到100 nV测量范围,提供了同类最优秀的性能,支持6位半分辨率

• 多种型号,提供了业内最宽的动态范围

• TSP技术在仪器中内嵌整个测试程序,提供了同类最优秀的系统级吞吐量

• TSP-Link®扩展技术,实现多通道并行测试,无需主机

• 全面进行生产测试,不影响空间

• USB 2.0、LXI-C、GPIB、RS-232和数字I/O接口         

型号

2601B

2602B

2604B

2611B

2612B

2614B

2634B

2635B

2636B

通道数

1

2

2

1

2

2

2

1

2

最大电流源/测量范围

3 A DC / 10 A脉冲

3 A DC / 10 A脉冲

3 A DC / 10 A脉冲

1.5A DC / 10 A脉冲

1.5A DC / 10 A脉冲

1.5A DC / 10 A脉冲

1.5A DC / 10 A脉冲

1.5A DC / 10 A脉冲

1.5A DC / 10 A脉冲

最大电压源/测量范围

 

 

40 V

40 V

40 V

200 V

200 V

200 V

200 V

200 V

200 V

 

 

测量分辨率 (电流/电压)

100 fA / 100 nV

100 fA / 100 nV

100 fA / 100 nV

100 fA / 100 nV

100 fA / 100 nV

100 fA / 100 nV

1 fA / 100 nV

0.1 fA / 100 nV

0.1 fA / 100 nV

最大输出功率

40 W DC / 200 W脉冲

40 W DC / 200 W脉冲

40 W DC / 200 W脉冲

30 W DC / 200 W脉冲

30 W DC / 200 W脉冲

30 WDC / 200 W脉冲

30 W DC / 200 W脉冲

30 W DC / 200 W脉冲

30 W DC / 200 W脉冲

 

生产测试速度提高60%,吞吐量提高10倍

SMU简化了生产测试。这些仪器在提供电压或电流的同时进行测量,而不需要改变连接。SMU是为在不停机生产环境中进行可靠操作而设计的。

为提供生产应用需要的吞吐量,可以把嵌入式测试脚本上传到SMU中,让它们运行复杂的测试顺序,而不需要电脑控制或通信,从而不会降慢处理速度。

拥有优异功率、精度和速度的高功率SMU

2651A 50 A高功率系统源表SMU仪器

• 提供或接收:

2,000 W的脉冲式功率(±40 V, ±50 A)

200 W的DC功率(±10 V @ ±20 A, ±20 V@ ± 10 A, ±40 V @ ±5 A)

• 简便连接两台仪器(串联或并联),创建高达±100 A或±80 V的解决方案

• 1 pA分辨率,精确测量超低泄漏电流

• 每点1 μs (1 MHz),18位采样,准确表征瞬态特点

• 1% ~ 100%脉冲占空比,支持脉宽调制(PWM)驱动方式及特定器件驱动激励源

2651A 了解更多信息

2657A 3000 V高功率系统源表SMU仪器

• 提供或接收高达180 W的DC或脉冲式功率,(±3000 V @ 20 mA, ±1500 V @ 120 mA)

• 1 fA低电流分辨率

• 双22位精密ADCs和双18位每点1 μs模数转换器,高精度、高速度捕获瞬态信号

• 完全满足TSP®标准,系统可简便集成Series 2600B系统源表和24XX图形SMUs

对当今高功率器件实现快速脉冲测量

全球发布的各种绿色环保倡议和能源效率标准,正在促使工程师寻求各种途径,设计更加高效的半导体器件和集成电路,测量这些器件在没有自热时的真实状态变得至关重要。脉冲式表征为解决这个问题提供了方案。使用脉冲式激励源需要更快速的测量。对要求这些功能的高速模数转换或波形捕获应用,吉时利高功率源表仪器还包括两个高速ADC,用来同时测量电流和电压。这些ADC采用与示波器类似的采样技术,获得信号随时间变化情况。每个高速ADC以高达1 MHz的速率采样,支持18位分辨率,远远高于示波器典型的8位分辨率,在类似的带宽下,可以更加精确地表征瞬态信号。再加上能够从源端异步测量,这种功能使得2651A和2657A特别适合波形捕获和瞬态表征应用。

体型小,密度高,更多通道

2606B系统源表SMU仪器

• 拥有两台业界领先的Keithley 2602B SMU的功能

• 在一个1U全机架机箱中提供了4通道SMU仪器

• 可堆叠,仪器之间没有1U空间要求

• 紧密集成电压/电流源和测量仪器,提供同类最优秀的性能,支持6位半分辨率

• 20 V @ 1 A和6 V @ 3 A功率包络,20 W

• 0.015% DCV基本准确度

测试机架的密度提高三倍

Model 2606B外形(仅1U高)实现了完美组合,把密度提高了3倍,因为在仪器之间不需要增加1U散热器(用于通风)。

精细工厂直接关系到制造商的成败

今天,制造商需要加快产品开发周期,降低成本,保持客户愉悦度。因此,制造商必须建设精细工厂,建立由人员、原材料和信息构成的无缝流程,防止存货积累及设备过多。

挑战

而在需求增长时,制造商需要提高产品测试能力,这要求在车间增加更多机架的测试设备。

用于超低电流和光电测试的专用SMU

6430微微安远程源表SMU仪器

• 0.4 fA p-p (4E–16A)噪声(典型值)

• 电压测量中>1016 Ω输入电阻

• 高速 — 高达2000个读数/秒

• 高达6位半分辨率

• 0.012%基本电压准确度;0.025%基本电流准确度

2510和2510-AT TEC和自动调谐TEC源表SMU仪器

• 50 W TEC控制器,结合DC测量功能

• 全数字P-I-D控制;自动调谐功能,适用于热控制环路(2510-AT)

• 在激光二极管模块测试期间控制温度

• 宽温度设置点范围(–50˚C ~ +225˚C)及高设置点分辨率 (±0.001˚C)和稳定性(±0.005˚C)

• 兼容各种温度传感器输入:热电阻器、RTD和IC传感器

2520脉冲式激光二极管测试系统

• 集成解决方案,在芯片级或杆级对激光二极管进行工艺内部LIV生产测试

• 融合高准确度源和测量功能或脉冲式测试和DC测试功能

• 基于DSP的同步测量通道,保证高度准确地进行光强度和电压测量

• 可编程脉冲,时间为500 ns ~ 5 ms,最高4%占空比

• 脉冲功能高达5 A,DC功能高达1 A

• 三条测量通道上14位测量准确度(VF, 前面光电二极管、背面光电二极管)

• 缓冲器内存中存储最多1000点扫描,在测试期间消除GPIB流量,提高吞吐量