源测量单元
可供选择范围最广泛的SMU
使用一台仪器进行多种测量
源测量单元(SMU)仪器是一种5合1工具。它外观紧凑，同时融合了数字万用表(DMM)、电源、电流源、电子负载和脉冲发生器的实用功能，您可以：
l 同时精确提供和测量电压和/或电流
l 直接或间接测量电阻相对于电流/电压关系
l 提供和测量范围非常广的电流(100 aA ~ 50 A)和电压(100 nV ~ 3 kV)，支持6位半测量分辨率
l 生产测试运行速度提高60%，吞吐量提高达10倍
l 节省时间，使速度达到最大，快速完成作业
为什么要选择吉时利源测量单元？
70多年来，吉时利SMU制造商——泰克科技一直设计、制造和行销高级电气测试仪器和系统，满足高性能生产测试、工艺监测、产品开发和研究中电子制造商的专门需求。
l 保障可重复性
l 快速，精确
l 选择范围最广泛
了解更多https://www.tek.com.cn/keithley-source-measure-units
图形触摸屏SMU，Touch, Test, Invent™
2450、2460和2461源表SMU仪器
• 5英寸高清容性触摸屏GUI
• 0.012%基本测量准确度，6位半分辨率
• 覆盖范围宽，最高200 V、7 A DC、10 A脉冲、最大1000 W
• 源端和接收端(4象限)操作
• 双1 MS/s模数转换器，快速进行采样测量(仅2461)
• 增强灵敏度，20 mV和10 nA源/测量范围(仅2450)
• 内置相关情境前面板帮助
• SCPI和快速脚本处理器(TSP®)编程模式
• 前面板USB 2.0存储I/O端口，用来传送数据、测试脚本或测试配置
型号 |
2450 |
2460 |
2461 |
最大电流源/测量范围 |
1 A |
7 A |
10 A |
最大电压源/测量范围 |
200 V |
100 V |
100 V |
测量分辨率(电流/电压) |
1pA / 10 nV |
10 pA / 100 nV |
1 pA / 100 nV |
最大输出功率 |
20 W |
100 W |
1000 W |
|
2450 了解更多信息 |
2460 了解更多信息 |
2461 了解更多信息 |
节省时间，使速度达到最大，快速完成作业
多种SMU型号，采用用户熟悉的图形界面，比如基于图标的菜单结构，不管用户经验是否丰富，使用起来都非常简便。您可以缩短学习时间，减少配置步骤，提高测量速度，从而学起来更快，工作起来更智能，发明创造更容易。
标准性能SMU，满足大多数基本需求
Series 2400源表SMU仪器
• 5种型号：20~100 W DC, 1100 V ~ 1 μV；单通道
• 源端和接收端(4象限)操作
• 0.012%基本测量准确度，6位半分辨率
• 2线、4线和6线远程电压源和测量传感
• 1700个读数/秒，4位半，经GPIB传送
• 合格/不合格对比，快速分拣/分装
• 可编程DIO端口，实现自动化/分拣器/探针台控制(2401除外)
• 标配SCPI GPIB、RS-232和吉时利触发链路接口
型号 |
2400 |
2401 |
2410 |
2420 |
2440 |
最大电流源/测量范围 |
1 A |
1 A |
1 A |
3 A |
5 A |
最大电压源/测量范围 |
200 V |
20 V |
1100 V |
60 V |
40 V |
测量分辨率 (电流/电压) |
1 pA / 100 nV |
1 pA / 100 nV |
1 pA / 100 nV |
10 pA / 100 nV |
10 pA / 100 nV |
最大输出功率 |
20 W |
20 W |
20 W |
60 W |
50 W |
比单独使用多以仪器更实用
SMU与电源相比
• 在电源过零时，SMU可以自动扫描正负输出的电压或电流。
• 在这些操作期间，不需要改变试线。
• SMU的输出可以在最短50 ms内稳定到0.01%的指定准确度范围内。
• SMU的精度更高，工作范围更宽。
• SMU提供了更加灵活的选项。
SMU与结合使用DMM和电源相比
• SMU把源功能和测量功能紧密整合到一台仪器中，不需要单独的DMM和电源。
• 改善了测试时间，简化了整体测试系统设计，提高了易用性。
• 在各种应用的电流相对于电压关系(IV)测量中，SMUs的性能都要优于单独使用DMM和电源。
为高要求应用提供的高速系统SMU
Series 2600B系统源表SMU仪器
• 紧密集成的4象限电压/电流源和测量仪器
• 10 A脉冲到0.1 fA及200 V到100 nV测量范围，提供了同类最优秀的性能，支持6位半分辨率
• 多种型号，提供了业内最宽的动态范围
• TSP技术在仪器中内嵌整个测试程序，提供了同类最优秀的系统级吞吐量
• TSP-Link®扩展技术，实现多通道并行测试，无需主机
• 全面进行生产测试，不影响空间
• USB 2.0、LXI-C、GPIB、RS-232和数字I/O接口
型号 |
2601B |
2602B |
2604B |
2611B |
2612B |
2614B |
2634B |
2635B |
2636B |
通道数 |
1 |
2 |
2 |
1 |
2 |
2 |
2 |
1 |
2 |
最大电流源/测量范围 |
3 A DC / 10 A脉冲 |
3 A DC / 10 A脉冲 |
3 A DC / 10 A脉冲 |
1.5A DC / 10 A脉冲 |
1.5A DC / 10 A脉冲 |
1.5A DC / 10 A脉冲 |
1.5A DC / 10 A脉冲 |
1.5A DC / 10 A脉冲 |
1.5A DC / 10 A脉冲 |
最大电压源/测量范围 |
|
||||||||
|
40 V |
40 V |
40 V |
200 V |
200 V |
200 V |
200 V |
200 V |
200 V |
|
|
||||||||
测量分辨率 (电流/电压) |
100 fA / 100 nV |
100 fA / 100 nV |
100 fA / 100 nV |
100 fA / 100 nV |
100 fA / 100 nV |
100 fA / 100 nV |
1 fA / 100 nV |
0.1 fA / 100 nV |
0.1 fA / 100 nV |
最大输出功率 |
40 W DC / 200 W脉冲 |
40 W DC / 200 W脉冲 |
40 W DC / 200 W脉冲 |
30 W DC / 200 W脉冲 |
30 W DC / 200 W脉冲 |
30 WDC / 200 W脉冲 |
30 W DC / 200 W脉冲 |
30 W DC / 200 W脉冲 |
30 W DC / 200 W脉冲 |
生产测试速度提高60%，吞吐量提高10倍
SMU简化了生产测试。这些仪器在提供电压或电流的同时进行测量，而不需要改变连接。SMU是为在不停机生产环境中进行可靠操作而设计的。
为提供生产应用需要的吞吐量，可以把嵌入式测试脚本上传到SMU中，让它们运行复杂的测试顺序，而不需要电脑控制或通信，从而不会降慢处理速度。
拥有优异功率、精度和速度的高功率SMU
2651A 50 A高功率系统源表SMU仪器
• 提供或接收：
2,000 W的脉冲式功率(±40 V, ±50 A)
200 W的DC功率(±10 V @ ±20 A, ±20 V@ ± 10 A, ±40 V @ ±5 A)
• 简便连接两台仪器(串联或并联)，创建高达±100 A或±80 V的解决方案
• 1 pA分辨率，精确测量超低泄漏电流
• 每点1 μs (1 MHz)，18位采样，准确表征瞬态特点
• 1% ~ 100%脉冲占空比，支持脉宽调制(PWM)驱动方式及特定器件驱动激励源
2651A 了解更多信息
2657A 3000 V高功率系统源表SMU仪器
• 提供或接收高达180 W的DC或脉冲式功率，(±3000 V @ 20 mA, ±1500 V @ 120 mA)
• 1 fA低电流分辨率
• 双22位精密ADCs和双18位每点1 μs模数转换器，高精度、高速度捕获瞬态信号
• 完全满足TSP®标准，系统可简便集成Series 2600B系统源表和24XX图形SMUs
对当今高功率器件实现快速脉冲测量
全球发布的各种绿色环保倡议和能源效率标准，正在促使工程师寻求各种途径，设计更加高效的半导体器件和集成电路，测量这些器件在没有自热时的真实状态变得至关重要。脉冲式表征为解决这个问题提供了方案。使用脉冲式激励源需要更快速的测量。对要求这些功能的高速模数转换或波形捕获应用，吉时利高功率源表仪器还包括两个高速ADC，用来同时测量电流和电压。这些ADC采用与示波器类似的采样技术，获得信号随时间变化情况。每个高速ADC以高达1 MHz的速率采样，支持18位分辨率，远远高于示波器典型的8位分辨率，在类似的带宽下，可以更加精确地表征瞬态信号。再加上能够从源端异步测量，这种功能使得2651A和2657A特别适合波形捕获和瞬态表征应用。
体型小，密度高，更多通道
2606B系统源表SMU仪器
• 拥有两台业界领先的Keithley 2602B SMU的功能
• 在一个1U全机架机箱中提供了4通道SMU仪器
• 可堆叠，仪器之间没有1U空间要求
• 紧密集成电压/电流源和测量仪器，提供同类最优秀的性能，支持6位半分辨率
• 20 V @ 1 A和6 V @ 3 A功率包络，20 W
• 0.015% DCV基本准确度
测试机架的密度提高三倍
Model 2606B外形(仅1U高)实现了完美组合，把密度提高了3倍，因为在仪器之间不需要增加1U散热器(用于通风)。
精细工厂直接关系到制造商的成败
今天，制造商需要加快产品开发周期，降低成本，保持客户愉悦度。因此，制造商必须建设精细工厂，建立由人员、原材料和信息构成的无缝流程，防止存货积累及设备过多。
挑战
而在需求增长时，制造商需要提高产品测试能力，这要求在车间增加更多机架的测试设备。
用于超低电流和光电测试的专用SMU
6430微微安远程源表SMU仪器
• 0.4 fA p-p (4E–16A)噪声(典型值)
• 电压测量中>1016 Ω输入电阻
• 高速 — 高达2000个读数/秒
• 高达6位半分辨率
• 0.012%基本电压准确度；0.025%基本电流准确度
2510和2510-AT TEC和自动调谐TEC源表SMU仪器
• 50 W TEC控制器，结合DC测量功能
• 全数字P-I-D控制；自动调谐功能，适用于热控制环路(2510-AT)
• 在激光二极管模块测试期间控制温度
• 宽温度设置点范围(–50˚C ~ +225˚C)及高设置点分辨率 (±0.001˚C)和稳定性(±0.005˚C)
• 兼容各种温度传感器输入：热电阻器、RTD和IC传感器
2520脉冲式激光二极管测试系统
• 集成解决方案，在芯片级或杆级对激光二极管进行工艺内部LIV生产测试
• 融合高准确度源和测量功能或脉冲式测试和DC测试功能
• 基于DSP的同步测量通道，保证高度准确地进行光强度和电压测量
• 可编程脉冲，时间为500 ns ~ 5 ms，最高4%占空比
• 脉冲功能高达5 A，DC功能高达1 A
• 三条测量通道上14位测量准确度(VF, 前面光电二极管、背面光电二极管)
• 缓冲器内存中存储最多1000点扫描，在测试期间消除GPIB流量，提高吞吐量